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電容式加速度傳感器工作原理

更新時(shí)間:2021-07-01   點(diǎn)擊次數(shù):2621次

電容式加速度傳感器,多種量程可選:2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低頻振動(dòng),傾斜測(cè)量MEMS加速度傳感器,采用變電容原理(當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化);該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體硬質(zhì)鋁氧化可靠隔離,特別適合于分析低頻或恒定加速運(yùn)動(dòng)。

主要技術(shù)指標(biāo)

 

靈敏度(20±5

1000 mV/g

測(cè)量范圍(峰值)

±1 g

大橫向靈敏度

≤5 

頻率響應(yīng)(-3dB)

0~ 800 Hz

非線性

≤0.5

工作溫度范圍

-40+120 

溫度響應(yīng)                            

見(jiàn)溫度曲線

沖擊極限(無(wú)供電)

5000 g

靈敏度溫度系數(shù)

0.3 %/

噪聲

45 ug/√Hz

輸出阻抗

100 Ω

供電電源

+6+16 VDC

工作電流

≤5 mA

g偏置電壓

2.5±0.1 V

安裝

4-φ2.8

殼體材料

不銹鋼

重量

20 g

輸出方式

整體三芯屏蔽電纜線 

紅線:正電源;白線:地;綠線:輸出

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